风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单向流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。

为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。
换气次数：根据洁净室总风量除以洁净室的容积求得。

洁净室温湿度检测

洁净室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。

第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试

第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。

这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力。这项检测适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。

压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界最远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的洁净室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。

洁净室压差检测要求

这种检测是为了验证完工设施和四周环境之间、设施内各空间之间维持一定压差的能力。这种检测适用于全部3个占用状态。这种检测是必须的。对压差的检测应该在全部门都关闭的条件下进行的，从高压到低压、从平面布置上和外界最远的里间房间开始，然后依次向外检测。不同等级的、有孔洞相通的洁净室，在洞口处只有合理的气流流向等。

压差检测要求：

(1)要求清洁区内所有门全部关闭时，进行静压差的测定。

(2)在洁净平面上，应从洁净度从高到低的顺序依次进行，直到检测到直通室外的房间。

(3)室内没有气流影响时测管口应设置在任何位置，测管口面和气流流线平行。

(4)测量记录的数据应该精确到1.0Pa。

压差检测步骤：

(1)首先关上所有门。

(2)用微差压计测量每个洁净室之间、洁净室走廊之间、走廊与外界之间的压差。

(3)所有数据记录好。

压差标准要求：

(1)不同级别的洁净室或洁净区和非洁净室(区)之间的静压差要求大于5Pa。

(2)洁净室(区)与室外的静压差要求大于10Pa。

(3)对于空气洁净度等级严于 5 级(100 级)的单向流洁净室在开门时，门内 0.6m 处的室内工作面含尘浓度应小于相应级别的含尘浓度限值。

(4)如果未能达到上述标准要求，应重新调整新风量、排风量，直到合格。

洁净室悬浮粒子测试

(1)室内测试人员一定要穿洁净服，要小于两个人，应位于测试点下风侧且远离测试点，做换点操作时动作要轻，不要增加人员对室内洁净度的干扰。

(2)设备要在校准期内使用。

(3)检测前后设备要清零。

(4)在单向流区域，选定的采样探头要接近等动力采样，进入采样探头的风速和被采空气的风速偏差应该小于20%。如果没有做到这一点，就要将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。

(5)采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。

洁净室沉降菌检测

工作区测点位置离地0.8-1.2m左右，将已制备好的培养皿置于采样点，打开培养皿盖，使其暴露规定的时间，再将培养皿盖上，将培养皿放于恒温培养箱中培养，时间不少于48小时，每批培养基应该有对照实验，检验培养基是否污染。

洁净室噪声及照度

噪声：测量高度距离地面约1.2米，洁净室面积在15平方以下者，可只测室中心1点；面积在15平方米以上，还应再测对角4点，距侧墙各1米，测点朝向各角。

照度：测点平面离地面0.8米左右，按2米间距布点，30平方米以内的房间测点距边墙0.5米，超过30平方米的房间测点距离墙面1米。